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アイテム
高速 C60クラスターイオンビームを照射した Si 表面構造のエネルギー依存性
https://repo.qst.go.jp/records/82952
https://repo.qst.go.jp/records/8295246fbecf2-48c3-4666-88fe-1ba7ac2aef00
| Item type | 一般雑誌記事 / Article(1) | |||||
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| 公開日 | 2021-06-04 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 高速 C60クラスターイオンビームを照射した Si 表面構造のエネルギー依存性 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | article | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| 著者 |
新田, 紀子
× 新田, 紀子× 大石脩人× 土田, 秀次× 冨田, 成夫× 笹, 公和× 平田, 浩一× 柴田, 裕実× 平野, 貴美× 山田, 圭介× 千葉, 敦也× 斎藤, 勇一× 鳴海, 一雅× 星野, 靖× Noriko, Nitta× Hidetsugu, Tsuchida× Shigeo, Tomita× Sasa, Kimikazu× Koichi, Hirata× Hiromi, Shibata× Yoshimi, Hirano× Keisuke, Yamada× Atsuya, Chiba× Yuichi, Saito× Kazumasa, Narumi |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | Ion beam irradiation of Si induces the formation of fine structures on the surface by sputtering. In this study, the energy dependence of the formed structures was investigated by electron microscopy using fast C60 cluster ion beams. The size of the structures increases with increasing energy. |
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| 書誌情報 |
連携重点研究2020(令和2)年度成果報告書 発行日 2021-06 |
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| 関連サイト | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | http://www.tokai.t.u-tokyo.ac.jp/kaihoken/seikahoukoku/seika2020/ | |||||
