WEKO3
アイテム
テンプレート層を用いたSi基板上への鉄酸化物膜の作製
https://repo.qst.go.jp/records/79289
https://repo.qst.go.jp/records/792891ae43ab9-2e31-46da-a9f1-06cbf19b47a3
| Item type | 会議発表用資料 / Presentation(1) | |||||
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| 公開日 | 2020-01-27 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | テンプレート層を用いたSi基板上への鉄酸化物膜の作製 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f | |||||
| 資源タイプ | conference object | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| 著者 |
山中, 健太
× 山中, 健太× 山口, 憲司× Yamanaka, Kenta× Yamaguchi, Kenji |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | 我々は以前テンプ レート層の材料として MgO を用いて Si 基板上に Fe3O4の薄膜を作製したが、MgO 膜の作製温度が常温付近に限定され、高い結晶性の膜を得るに至っていない。この問題点を克服するため、高温でも安定であり、Si との反応性が低い物質をテンプレート層に採用することを検討した。その候補として、我々はAl2O3に着目し、テンプレート層としての適性を実験結果とともに検討、考察する。 | |||||
| 会議概要（会議名, 開催地, 会期, 主催者等） | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 第67回応用物理学会春季学術講演会 | |||||
| 発表年月日 | ||||||
| 日付 | 2020-03-14 | |||||
| 日付タイプ | Issued | |||||
