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アイテム
ボロンK発光(183eV)分光計測のためのランタン系膜付加による 高回折効率・広受光角軟X線ラミナー型回折格子の開発
https://repo.qst.go.jp/records/76974
https://repo.qst.go.jp/records/7697460ec5922-b437-4b80-983e-d252067ede23
| Item type | 会議発表用資料 / Presentation(1) | |||||
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| 公開日 | 2019-09-30 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | ボロンK発光(183eV)分光計測のためのランタン系膜付加による 高回折効率・広受光角軟X線ラミナー型回折格子の開発 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f | |||||
| 資源タイプ | conference object | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| 著者 |
小池, 雅人
× 小池, 雅人× 羽多野, 忠× 寺内, 正己× 高橋, 秀之× 村野, 孝訓× 高倉, 優× 長野, 哲也× 笹井, 浩行× 西原, 弘晃× Koike, Masato |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | ボロン（B、ホウ素）の軟X線発光を用いた状態分析は、自動車用高機能鋼材及びBWR・PWR原子炉材分析、農産物と土壌の分析、さらに半導体のドーパント分析、スピントロニクス・超電導材料開発などの分野で最近富に利用が拡大しているが、微量分析の目的には更なる分析強度の向上が望まれている。このため、表面物質がNiである軟X線回折格子表面上にランタン(La)系膜を堆積しB-K発光(6.76nm) において、受光量を増すため、従前より小さい入射角で回折効率を増大させる条件を探索した。試作した回折格子を放射光施設で測定した結果、LaF3およびLa / C膜を数十nm厚で堆積した回折格子を入射角が従前より約3°小さい84.20°で使用したとき、それぞれ27.8％および29.8％の回折効率を得た。電子顕微鏡に搭載の軟X線分光器による実機測定でも従来比で3倍以上の分析強度の向上を達成した。 | |||||
| 会議概要（会議名, 開催地, 会期, 主催者等） | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 応用物理学会関西支部2019年度第2回講演会 | |||||
| 発表年月日 | ||||||
| 日付 | 2019-11-08 | |||||
| 日付タイプ | Issued | |||||
