@misc{oai:repo.qst.go.jp:00076974, author = {小池, 雅人 and 羽多野, 忠 and 寺内, 正己 and 高橋, 秀之 and 村野, 孝訓 and 高倉, 優 and 長野, 哲也 and 笹井, 浩行 and 西原, 弘晃 and Koike, Masato}, month = {Nov}, note = {ボロン(B、ホウ素)の軟X線発光を用いた状態分析は、自動車用高機能鋼材及びBWR・PWR原子炉材分析、農産物と土壌の分析、さらに半導体のドーパント分析、スピントロニクス・超電導材料開発などの分野で最近富に利用が拡大しているが、微量分析の目的には更なる分析強度の向上が望まれている。このため、表面物質がNiである軟X線回折格子表面上にランタン(La)系膜を堆積しB-K発光(6.76nm) において、受光量を増すため、従前より小さい入射角で回折効率を増大させる条件を探索した。試作した回折格子を放射光施設で測定した結果、LaF3およびLa / C膜を数十nm厚で堆積した回折格子を入射角が従前より約3°小さい84.20°で使用したとき、それぞれ27.8%および29.8%の回折効率を得た。電子顕微鏡に搭載の軟X線分光器による実機測定でも従来比で3倍以上の分析強度の向上を達成した。, 応用物理学会関西支部2019年度第2回講演会}, title = {ボロンK発光(183eV)分光計測のためのランタン系膜付加による 高回折効率・広受光角軟X線ラミナー型回折格子の開発}, year = {2019} }