WEKO3
アイテム
Measurement of Hydrogen Ion Beam Energy Spreads Generated by a Penning-Ionization-Gauge Type Ion Source with Electric Magnets for a MeV Compact Ion Microbeam System
https://repo.qst.go.jp/records/76698
https://repo.qst.go.jp/records/766986b3a4c64-2dba-4a86-a4e2-10af82435cde
| Item type | 会議発表用資料 / Presentation(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2019-09-09 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Measurement of Hydrogen Ion Beam Energy Spreads Generated by a Penning-Ionization-Gauge Type Ion Source with Electric Magnets for a MeV Compact Ion Microbeam System | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | eng | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f | |||||
| 資源タイプ | conference object | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| 著者 |
Ishii, Yasuyuki
× Ishii, Yasuyuki× Okubo, Takeru× Kashiwagi, Hirotsugu× Yoshinobu, Miyake(㈱ビーム精工)× Ishii, Yasuyuki× Okubo, Takeru× Kashiwagi, Hirotsugu |
|||||
| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | 本研究では、イオンマイクロビームの産業利用を目指して開発中の小型イオンマイクロビーム装置の要素技術として、小型・小電力な電磁石型PIGイオン源（emPIGイオン源）を開発している。このイオン源は、マイクロビーム形成に必要な低エネルギー、高輝度及び小エネルギー幅のイオンビームを発生するため、微小体積の高密度プラズマからイオンビームを引き出す方式である。これまでに、emPIGイオン源から300eV程度で高輝度な水素イオンビームが発生できることを実験的に示した。今回、もう一つの重要なビーム条件である小エネルギー幅のビームを発生するため、イオン源の引き出し電圧、水素ガス圧及び磁場強度を変えてエネルギー幅を静電並行平板型のエネルギー分析器により測定した。この結果、300eV程度の水素イオンビームで、6eV程度の最低エネルギー幅が得られ、ほぼ目標値を達成することができた。 | |||||
| 会議概要（会議名, 開催地, 会期, 主催者等） | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | The 17th International Conference on Ion Sources | |||||
| 発表年月日 | ||||||
| 日付 | 2019-09-04 | |||||
| 日付タイプ | Issued | |||||
