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アイテム
ボロンK発光(183eV)分光計測のための酸化物膜付加による 高回折効率・広受光角軟X線ラミナー型回折格子の開発
https://repo.qst.go.jp/records/73215
https://repo.qst.go.jp/records/732150660799a-ee51-4458-8d90-b2eacf21c64e
Item type | 会議発表用資料 / Presentation(1) | |||||
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公開日 | 2019-02-20 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | ボロンK発光(183eV)分光計測のための酸化物膜付加による 高回折効率・広受光角軟X線ラミナー型回折格子の開発 | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
資源タイプ | ||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f | |||||
資源タイプ | conference object | |||||
アクセス権 | ||||||
アクセス権 | metadata only access | |||||
アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
著者 |
小池, 雅人
× 小池, 雅人× 寺内, 正己× 羽多野, 忠× 高橋, 秀之× 村野, 孝訓× 高倉, 優× 長野, 哲也× 笹井, 浩行× 小池 雅人 |
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抄録 | ||||||
内容記述タイプ | Abstract | |||||
内容記述 | 表面物質がNiである軟X線回折格子表面上にTiO2(CeO2) を堆積しB-K 発光で回折効率が極大となる膜厚と入射角を探索し、膜厚22.0 nm(30.2 nm)及び入射角85.262°、(84.496°)を得た。放射光を用いて測定した結果、従来のNi回折格子を入射角87.070°で用いる場合に対して、受光立体角の増加も考慮した場合、光量が2.4倍(TiO2)、3.8倍(CeO2)に増加した。 | |||||
会議概要(会議名, 開催地, 会期, 主催者等) | ||||||
内容記述タイプ | Other | |||||
内容記述 | 応用物理学会関西支部平成30年度第3回講演会 | |||||
発表年月日 | ||||||
日付 | 2019-02-15 | |||||
日付タイプ | Issued |