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  1. 学会発表・講演等
  2. ポスター発表

プロトンビーム描画により形成したシリコン空孔の光学特性劣化要因に関する研究

https://repo.qst.go.jp/records/73006
https://repo.qst.go.jp/records/73006
8968e4f3-aad3-4aa4-8aa0-dd066dbb5f72
Item type 会議発表用資料 / Presentation(1)
公開日 2018-11-12
タイトル
タイトル プロトンビーム描画により形成したシリコン空孔の光学特性劣化要因に関する研究
言語
言語 jpn
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f
資源タイプ conference object
アクセス権
アクセス権 metadata only access
アクセス権URI http://purl.org/coar/access_right/c_14cb
著者 山崎, 雄一

× 山崎, 雄一

WEKO 719442

山崎, 雄一

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千葉, 陽史

× 千葉, 陽史

WEKO 719443

千葉, 陽史

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牧野, 高紘

× 牧野, 高紘

WEKO 719444

牧野, 高紘

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佐藤, 真一郎

× 佐藤, 真一郎

WEKO 719445

佐藤, 真一郎

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山田, 尚人

× 山田, 尚人

WEKO 719446

山田, 尚人

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佐藤, 隆博

× 佐藤, 隆博

WEKO 719447

佐藤, 隆博

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加田, 渉

× 加田, 渉

WEKO 719448

加田, 渉

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土方, 泰斗

× 土方, 泰斗

WEKO 719449

土方, 泰斗

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児島, 一聡

× 児島, 一聡

WEKO 719450

児島, 一聡

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-Y., Lee S.

× -Y., Lee S.

WEKO 719451

-Y., Lee S.

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大島, 武

× 大島, 武

WEKO 719452

大島, 武

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山崎 雄一

× 山崎 雄一

WEKO 719453

en 山崎 雄一

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千葉 陽史

× 千葉 陽史

WEKO 719454

en 千葉 陽史

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牧野 高紘

× 牧野 高紘

WEKO 719455

en 牧野 高紘

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佐藤 真一郎

× 佐藤 真一郎

WEKO 719456

en 佐藤 真一郎

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山田 尚人

× 山田 尚人

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en 山田 尚人

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佐藤 隆博

× 佐藤 隆博

WEKO 719458

en 佐藤 隆博

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加田 渉

× 加田 渉

WEKO 719459

en 加田 渉

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大島 武

× 大島 武

WEKO 719460

en 大島 武

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抄録
内容記述タイプ Abstract
内容記述 炭化ケイ素半導体(SiC)中の発光中心の一つであるシリコン空孔(VSi)[1]は、温度や磁場の高感度量子センサへの応用が期待されている[2,3]。本研究では、pnダイオード内の任意位置にプロトン(H+)ビーム描画[4]によりVSiを形成、H+照射量がその光学特性に与える影響を調べた。その結果、高照射量下(>4×1013 H+/cm2)において結晶損傷による抵抗増大が特性劣化を引き起こすことがわかった。
会議概要(会議名, 開催地, 会期, 主催者等)
内容記述タイプ Other
内容記述 先進パワー半導体分科会 第5回講演会
発表年月日
日付 2018-11-07
日付タイプ Issued
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Ver.1 2023-05-15 19:33:46.646099
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