WEKO3
アイテム
EUV Laser Ablation and Damage Examination
https://repo.qst.go.jp/records/72918
https://repo.qst.go.jp/records/72918f16f0316-76a5-472e-95ef-b51a6b7fd789
| Item type | 会議発表用資料 / Presentation(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2018-09-10 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | EUV Laser Ablation and Damage Examination | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | eng | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f | |||||
| 資源タイプ | conference object | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| 著者 |
石野, 雅彦
× 石野, 雅彦× タンフン, ヂン× 北村, 俊幸× 長谷川, 登× 錦野, 将元× 坂上, 和之× 鷲尾, 方一× 東口, 武史× 市丸, 智× 岡本, 一将× 古澤, 孝弘× 末元, 徹× 木下, 博雄× Pikuz, Tatiana× Faenov, Anatoly× 石野 雅彦× タンフン ヂン× 北村 俊幸× 長谷川 登× 錦野 将元 |
|||||
| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | In this paper we report on results of extreme ultraviolet (EUV) free-electron laser ablation experiments. In the ablation experiments, we had evaluated the throughput energy of SACLA BL1, and confirmed the dependence on damage thresholds of pulse duration. In addition, the damage examinations of resists and multilayer mirrors had been evaluated and material dependent of threshold was confirmed. | |||||
| 会議概要（会議名, 開催地, 会期, 主催者等） | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | SACLA Users' Meeting 2018 | |||||
| 発表年月日 | ||||||
| 日付 | 2018-09-06 | |||||
| 日付タイプ | Issued | |||||
