WEKO3
アイテム
オーバーコート軟X線回折格子の光学特性評価
https://repo.qst.go.jp/records/72790
https://repo.qst.go.jp/records/727908fd2468f-d936-47ef-8b92-c6e4dbfd9061
Item type | 会議発表用資料 / Presentation(1) | |||||
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公開日 | 2018-05-14 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | オーバーコート軟X線回折格子の光学特性評価 | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
資源タイプ | ||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f | |||||
資源タイプ | conference object | |||||
アクセス権 | ||||||
アクセス権 | metadata only access | |||||
アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
著者 |
西原弘晃
× 西原弘晃× 笹井浩行× 長野哲也× 今園, 孝志× 今園 孝志 |
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抄録 | ||||||
内容記述タイプ | Abstract | |||||
内容記述 | 軟X線レプリカ回折格子に多層膜をオーバーコートすることで利用帯域を拡張できる。ところが、回折格子の使用にあたって実施される測定真空槽のベーキング(60℃程度)によって表面が劣化(多層膜構造は健全だが、格子溝を形成している樹脂が著しく変形)することが明らかになった。このような劣化は単層膜レプリカ回折格子では見られず、多層膜レプリカ回折格子特有であることから、多層膜レプリカ回折格子の耐熱性向上が求められる。本研究では、高いガラス転移温度を持つ樹脂で製作したレプリカ回折格子にW/B4C多層膜を成膜した多層膜レプリカ回折格子を試作し、熱負荷試験を行った。その結果、格子溝および多層膜構造は良好に維持され、回折効率の低下(変化率)は3%以下であった。これは、従前の耐熱温度に比して30℃程度向上したことを示唆している。 | |||||
会議概要(会議名, 開催地, 会期, 主催者等) | ||||||
内容記述タイプ | Other | |||||
内容記述 | 光・量子ビーム科学合同シンポジウム(OPTO2018) | |||||
発表年月日 | ||||||
日付 | 2018-05-09 | |||||
日付タイプ | Issued |