{"created":"2023-05-15T14:53:27.114449+00:00","id":72790,"links":{},"metadata":{"_buckets":{"deposit":"6bcc8fce-0093-47b8-a74e-f85a7d3416e7"},"_deposit":{"created_by":1,"id":"72790","owners":[1],"pid":{"revision_id":0,"type":"depid","value":"72790"},"status":"published"},"_oai":{"id":"oai:repo.qst.go.jp:00072790","sets":["10:28"]},"author_link":["717155","717156","717152","717153","717154"],"item_10005_date_7":{"attribute_name":"発表年月日","attribute_value_mlt":[{"subitem_date_issued_datetime":"2018-05-09","subitem_date_issued_type":"Issued"}]},"item_10005_description_5":{"attribute_name":"抄録","attribute_value_mlt":[{"subitem_description":"軟X線レプリカ回折格子に多層膜をオーバーコートすることで利用帯域を拡張できる。ところが、回折格子の使用にあたって実施される測定真空槽のベーキング（60℃程度）によって表面が劣化（多層膜構造は健全だが、格子溝を形成している樹脂が著しく変形）することが明らかになった。このような劣化は単層膜レプリカ回折格子では見られず、多層膜レプリカ回折格子特有であることから、多層膜レプリカ回折格子の耐熱性向上が求められる。本研究では、高いガラス転移温度を持つ樹脂で製作したレプリカ回折格子にW/B4C多層膜を成膜した多層膜レプリカ回折格子を試作し、熱負荷試験を行った。その結果、格子溝および多層膜構造は良好に維持され、回折効率の低下（変化率）は3%以下であった。これは、従前の耐熱温度に比して30℃程度向上したことを示唆している。","subitem_description_type":"Abstract"}]},"item_10005_description_6":{"attribute_name":"会議概要（会議名, 開催地, 会期, 主催者等）","attribute_value_mlt":[{"subitem_description":"光・量子ビーム科学合同シンポジウム（OPTO2018）","subitem_description_type":"Other"}]},"item_access_right":{"attribute_name":"アクセス権","attribute_value_mlt":[{"subitem_access_right":"metadata only access","subitem_access_right_uri":"http://purl.org/coar/access_right/c_14cb"}]},"item_creator":{"attribute_name":"著者","attribute_type":"creator","attribute_value_mlt":[{"creatorNames":[{"creatorName":"西原弘晃"}],"nameIdentifiers":[{"nameIdentifier":"717152","nameIdentifierScheme":"WEKO"}]},{"creatorNames":[{"creatorName":"笹井浩行"}],"nameIdentifiers":[{"nameIdentifier":"717153","nameIdentifierScheme":"WEKO"}]},{"creatorNames":[{"creatorName":"長野哲也"}],"nameIdentifiers":[{"nameIdentifier":"717154","nameIdentifierScheme":"WEKO"}]},{"creatorNames":[{"creatorName":"今園, 孝志"}],"nameIdentifiers":[{"nameIdentifier":"717155","nameIdentifierScheme":"WEKO"}]},{"creatorNames":[{"creatorName":"今園 孝志","creatorNameLang":"en"}],"nameIdentifiers":[{"nameIdentifier":"717156","nameIdentifierScheme":"WEKO"}]}]},"item_language":{"attribute_name":"言語","attribute_value_mlt":[{"subitem_language":"jpn"}]},"item_resource_type":{"attribute_name":"資源タイプ","attribute_value_mlt":[{"resourcetype":"conference object","resourceuri":"http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f"}]},"item_title":"オーバーコート軟X線回折格子の光学特性評価","item_titles":{"attribute_name":"タイトル","attribute_value_mlt":[{"subitem_title":"オーバーコート軟X線回折格子の光学特性評価"}]},"item_type_id":"10005","owner":"1","path":["28"],"pubdate":{"attribute_name":"公開日","attribute_value":"2018-05-14"},"publish_date":"2018-05-14","publish_status":"0","recid":"72790","relation_version_is_last":true,"title":["オーバーコート軟X線回折格子の光学特性評価"],"weko_creator_id":"1","weko_shared_id":-1},"updated":"2023-05-15T19:36:02.118843+00:00"}