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  1. 学会発表・講演等
  2. ポスター発表

Proton Beam Writing 技術を利用したフレキシブル電気回路基板内部への光配線実装の試み

https://repo.qst.go.jp/records/72158
https://repo.qst.go.jp/records/72158
ce5f4457-8f51-48af-93d3-4e344429d638
Item type 会議発表用資料 / Presentation(1)
公開日 2017-02-14
タイトル
タイトル Proton Beam Writing 技術を利用したフレキシブル電気回路基板内部への光配線実装の試み
言語
言語 jpn
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f
資源タイプ conference object
アクセス権
アクセス権 metadata only access
アクセス権URI http://purl.org/coar/access_right/c_14cb
著者 加田, 渉

× 加田, 渉

WEKO 710521

加田, 渉

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三浦, 聡

× 三浦, 聡

WEKO 710522

三浦, 聡

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高橋, 良平

× 高橋, 良平

WEKO 710523

高橋, 良平

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阿久津, 尚紀

× 阿久津, 尚紀

WEKO 710524

阿久津, 尚紀

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川端, 駿介

× 川端, 駿介

WEKO 710525

川端, 駿介

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猿谷, 良太

× 猿谷, 良太

WEKO 710526

猿谷, 良太

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三浦, 健太

× 三浦, 健太

WEKO 710527

三浦, 健太

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花泉, 修

× 花泉, 修

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花泉, 修

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佐藤, 隆博

× 佐藤, 隆博

WEKO 710529

佐藤, 隆博

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山田, 尚人

× 山田, 尚人

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山田, 尚人

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石井, 保行

× 石井, 保行

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石井, 保行

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石井, 保行

× 石井, 保行

WEKO 710532

石井, 保行

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佐藤 隆博

× 佐藤 隆博

WEKO 710533

en 佐藤 隆博

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石井 保行

× 石井 保行

WEKO 710534

en 石井 保行

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抄録
内容記述タイプ Abstract
内容記述 イオンマイクロビームを用いた微細加工技術(Proton Beam Wrinting : PBW)の利用拡大の一環として、柔軟性があり様々な場所に実装することが可能な光導波路の開発を行っている。今回、フレキシブルポジ感光基板(厚さ85μm)にPBW(ビーム径:1μm、エネルギー:1.7MeV)を使用して、光スイッチへの利用が期待されるマッハツェンダー(MZ)型導波路(導波路幅:8μm、長さ:40mm)を照射量を変えて描画した。これに波長1.5μmの赤外光を入力し、透過光を観察した結果、400~1000nC/mm2の注入量で正常な光の伝搬を示すシングルモードの出射光が得られることを確認した。これにより、柔軟性をもつ材料でMZ型の導波路の製作が可能なことを明らかにした。
会議概要(会議名, 開催地, 会期, 主催者等)
内容記述タイプ Other
内容記述 第1回QST高崎研シンポジウム
発表年月日
日付 2017-01-27
日付タイプ Issued
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Ver.1 2023-05-15 19:43:06.159911
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