@misc{oai:repo.qst.go.jp:00072158,
 author = {加田, 渉 and 三浦, 聡 and 高橋, 良平 and 阿久津, 尚紀 and 川端, 駿介 and 猿谷, 良太 and 三浦, 健太 and 花泉, 修 and 佐藤, 隆博 and 山田, 尚人 and 石井, 保行 and 石井, 保行 and 佐藤 隆博 and 石井 保行},
 month = {Jan},
 note = {イオンマイクロビームを用いた微細加工技術（Proton Beam Wrinting : PBW）の利用拡大の一環として、柔軟性があり様々な場所に実装することが可能な光導波路の開発を行っている。今回、フレキシブルポジ感光基板(厚さ85μm)にPBW（ビーム径：1μm、エネルギー：1.7MeV）を使用して、光スイッチへの利用が期待されるマッハツェンダー（MZ）型導波路（導波路幅：8μm、長さ：40mm）を照射量を変えて描画した。これに波長1.5μmの赤外光を入力し、透過光を観察した結果、400～1000nC/mm2の注入量で正常な光の伝搬を示すシングルモードの出射光が得られることを確認した。これにより、柔軟性をもつ材料でMZ型の導波路の製作が可能なことを明らかにした。, 第1回QST高崎研シンポジウム},
 title = {Proton Beam Writing 技術を利用したフレキシブル電気回路基板内部への光配線実装の試み},
 year = {2017}
}