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アイテム
レーザー駆動プラズマＸ線レーザー強度モニタ用 Mo/Si多層膜コートフォトダイオード検出器の試作
https://repo.qst.go.jp/records/72082
https://repo.qst.go.jp/records/72082da47fa22-6a97-408c-9fcf-9aba478228b9
| Item type | 会議発表用資料 / Presentation(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2016-12-05 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | レーザー駆動プラズマＸ線レーザー強度モニタ用 Mo/Si多層膜コートフォトダイオード検出器の試作 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f | |||||
| 資源タイプ | conference object | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| 著者 |
今園, 孝志
× 今園, 孝志× 今園 孝志 |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | 本研究では、軟Ｘ線用シリコンフォトダイオード検出器（IRD社AXUV100G）のアクティブ領域にイオンビームスパッタ法でMo/Si多層膜鏡を積層した多層膜フォトダイオード検出器（MPD）のプロトタイプを試作した。放射光及びレーザー駆動プラズマＸ線レーザー光源（波長13.9 nm）を用いた反射率及び透過率測定の結果、MPDは高効率反射鏡として機能するとともに、その反射率と透過率の間には強い正の相関が認められた。MPDはショット毎に変動するＸ線レーザーのビーム強度モニタとして十分な性能を有し、Ｘ線レーザーによる軟Ｘ線加工技術に不可欠な1パルスあたりの光子数の高精度計測に有効であることが分かった。 | |||||
| 会議概要（会議名, 開催地, 会期, 主催者等） | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 第30回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム | |||||
| 発表年月日 | ||||||
| 日付 | 2017-01-08 | |||||
| 日付タイプ | Issued | |||||
