@misc{oai:repo.qst.go.jp:00072082,
 author = {今園, 孝志 and 今園 孝志},
 month = {Jan},
 note = {本研究では、軟Ｘ線用シリコンフォトダイオード検出器（IRD社AXUV100G）のアクティブ領域にイオンビームスパッタ法でMo/Si多層膜鏡を積層した多層膜フォトダイオード検出器（MPD）のプロトタイプを試作した。放射光及びレーザー駆動プラズマＸ線レーザー光源（波長13.9 nm）を用いた反射率及び透過率測定の結果、MPDは高効率反射鏡として機能するとともに、その反射率と透過率の間には強い正の相関が認められた。MPDはショット毎に変動するＸ線レーザーのビーム強度モニタとして十分な性能を有し、Ｘ線レーザーによる軟Ｘ線加工技術に不可欠な1パルスあたりの光子数の高精度計測に有効であることが分かった。, 第30回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム},
 title = {レーザー駆動プラズマＸ線レーザー強度モニタ用 Mo/Si多層膜コートフォトダイオード検出器の試作},
 year = {2017}
}