WEKO3
アイテム
PF BL-11Dにおける5-10 nm領域の回折格子の回折効率評価
https://repo.qst.go.jp/records/65933
https://repo.qst.go.jp/records/65933b914887e-8acd-4cfd-a4df-9fd97ae01709
| Item type | 会議発表用資料 / Presentation(1) | |||||
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| 公開日 | 2016-07-28 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | PF BL-11Dにおける5-10 nm領域の回折格子の回折効率評価 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f | |||||
| 資源タイプ | conference object | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| 著者 |
羽多野, 忠
× 羽多野, 忠× 小池, 雅人× 浮田, 龍一× 笹井, 浩行× 小池 雅人 |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | 極端紫外・軟Ｘ線領域の光学素子評価ビームライン（PF BL-11D)で軟Ｘ線ラミナーレプリカ回折格子 (Niコート)の回折効率評価実験を行った。回折格子の刻線密度は1200本/mmである。入射角が設計値の87.07°となるように回折格子を固定し，検出器を回転駆動して0～4次の回折光を検出した。波長10 nm と波長5nmでの回折効率の比較により波長10 nm における2次光の混入率を求めることができ，0.55％という十分低い値を得た。同様にしてB-K発光の波長6.76nmにて2.88％を得た。多層膜ミラー反射率計測により波長4.4nmにおける２次光混入率が8％ということもわかっている［羽多野他,第75回応用物理学会秋季学術講演会19p-A13-12(2014)]。これらの情報を用いて実測値を分光器２次光の影響を除去した値に換算した。その値は計算値より0.01低く，～1nmの表面粗さを考慮するとよく一致した。次に波長6.76nmの回折効率の入射角依存性を調べた。その結果低入射角側の82.9°で回折効率が最大になり、この場合分光器としての感度は従来設計に比較して3倍近い向上が期待できることが判った。 | |||||
| 会議概要（会議名, 開催地, 会期, 主催者等） | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 第77回応用物理学会秋季学術講演会 | |||||
| 発表年月日 | ||||||
| 日付 | 2016-09-13 | |||||
| 日付タイプ | Issued | |||||
