@misc{oai:repo.qst.go.jp:00065933,
 author = {羽多野, 忠 and 小池, 雅人 and 浮田, 龍一 and 笹井, 浩行 and 小池 雅人},
 month = {Sep},
 note = {極端紫外・軟Ｘ線領域の光学素子評価ビームライン（PF BL-11D)で軟Ｘ線ラミナーレプリカ回折格子　(Niコート)の回折効率評価実験を行った。回折格子の刻線密度は1200本/mmである。入射角が設計値の87.07°となるように回折格子を固定し，検出器を回転駆動して0～4次の回折光を検出した。波長10 nm と波長5nmでの回折効率の比較により波長10 nm における2次光の混入率を求めることができ，0.55％という十分低い値を得た。同様にしてB-K発光の波長6.76nmにて2.88％を得た。多層膜ミラー反射率計測により波長4.4nmにおける２次光混入率が8％ということもわかっている［羽多野他,第75回応用物理学会秋季学術講演会19p-A13-12(2014)]。これらの情報を用いて実測値を分光器２次光の影響を除去した値に換算した。その値は計算値より0.01低く，～1nmの表面粗さを考慮するとよく一致した。次に波長6.76nmの回折効率の入射角依存性を調べた。その結果低入射角側の82.9°で回折効率が最大になり、この場合分光器としての感度は従来設計に比較して3倍近い向上が期待できることが判った。, 第77回応用物理学会秋季学術講演会},
 title = {PF BL-11Dにおける5-10 nm領域の回折格子の回折効率評価},
 year = {2016}
}