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アイテム
量子ビームによる金属ナノ粒子を含有した微細パターンの直接形成
https://repo.qst.go.jp/records/58915
https://repo.qst.go.jp/records/58915b87ae368-21c2-4aac-98a1-c6d2b6cc1dad
| Item type | 一般雑誌記事 / Article(1) | |||||
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| 公開日 | 2018-12-14 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 量子ビームによる金属ナノ粒子を含有した微細パターンの直接形成 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | article | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| 著者 |
山本, 洋揮
× 山本, 洋揮× 山本 洋揮 |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | RadTech Japna NEWS LETTERの「新技術紹介」コーナーにおいて、量子ビームによる金属ナノ粒子を含有した微細パターンの直接形成を紹介した。従来の光リソグラフィでは短波長化の限界のため、極端紫外光（EUV）のような量子ビームが次期露光源として有望視されている。その露光源のシフトに伴って、革新的な材料・プロセスの研究・開発が求められている。本稿では、還元剤を使用することなく、金属イオンを含有したポリマー薄膜に電子ビーム照射後、加熱するだけで金属ナノ粒子を含有した微細パターンの直接形成について紹介した。 | |||||
| 書誌情報 |
RadTech Japan NEWS LETTER 巻 111, p. 3-6, 発行日 2018-12 |
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