@article{oai:repo.qst.go.jp:00058915,
 author = {山本, 洋揮 and 山本 洋揮},
 journal = {RadTech Japan NEWS LETTER},
 month = {Dec},
 note = {RadTech　Japna　NEWS　LETTERの「新技術紹介」コーナーにおいて、量子ビームによる金属ナノ粒子を含有した微細パターンの直接形成を紹介した。従来の光リソグラフィでは短波長化の限界のため、極端紫外光（EUV）のような量子ビームが次期露光源として有望視されている。その露光源のシフトに伴って、革新的な材料・プロセスの研究・開発が求められている。本稿では、還元剤を使用することなく、金属イオンを含有したポリマー薄膜に電子ビーム照射後、加熱するだけで金属ナノ粒子を含有した微細パターンの直接形成について紹介した。},
 pages = {3--6},
 title = {量子ビームによる金属ナノ粒子を含有した微細パターンの直接形成},
 volume = {111},
 year = {2018}
}