WEKO3
アイテム
オーバーコート軟X線回折格子の光学特性評価
https://repo.qst.go.jp/records/72790
https://repo.qst.go.jp/records/727908fd2468f-d936-47ef-8b92-c6e4dbfd9061
| Item type | 会議発表用資料 / Presentation(1) | |||||
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| 公開日 | 2018-05-14 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | オーバーコート軟X線回折格子の光学特性評価 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f | |||||
| 資源タイプ | conference object | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| 著者 |
西原弘晃
× 西原弘晃× 笹井浩行× 長野哲也× 今園, 孝志× 今園 孝志 |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | 軟X線レプリカ回折格子に多層膜をオーバーコートすることで利用帯域を拡張できる。ところが、回折格子の使用にあたって実施される測定真空槽のベーキング（60℃程度）によって表面が劣化（多層膜構造は健全だが、格子溝を形成している樹脂が著しく変形）することが明らかになった。このような劣化は単層膜レプリカ回折格子では見られず、多層膜レプリカ回折格子特有であることから、多層膜レプリカ回折格子の耐熱性向上が求められる。本研究では、高いガラス転移温度を持つ樹脂で製作したレプリカ回折格子にW/B4C多層膜を成膜した多層膜レプリカ回折格子を試作し、熱負荷試験を行った。その結果、格子溝および多層膜構造は良好に維持され、回折効率の低下（変化率）は3%以下であった。これは、従前の耐熱温度に比して30℃程度向上したことを示唆している。 | |||||
| 会議概要（会議名, 開催地, 会期, 主催者等） | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 光・量子ビーム科学合同シンポジウム（OPTO2018） | |||||
| 発表年月日 | ||||||
| 日付 | 2018-05-09 | |||||
| 日付タイプ | Issued | |||||
