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レーザー駆動プラズマX線レーザー強度モニタ用 Mo/Si多層膜コートフォトダイオード検出器の試作
https://repo.qst.go.jp/records/72082
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Item type | 会議発表用資料 / Presentation(1) | |||||
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公開日 | 2016-12-05 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | レーザー駆動プラズマX線レーザー強度モニタ用 Mo/Si多層膜コートフォトダイオード検出器の試作 | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
資源タイプ | ||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f | |||||
資源タイプ | conference object | |||||
アクセス権 | ||||||
アクセス権 | metadata only access | |||||
アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
著者 |
今園, 孝志
× 今園, 孝志× 今園 孝志 |
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抄録 | ||||||
内容記述タイプ | Abstract | |||||
内容記述 | 本研究では、軟X線用シリコンフォトダイオード検出器(IRD社AXUV100G)のアクティブ領域にイオンビームスパッタ法でMo/Si多層膜鏡を積層した多層膜フォトダイオード検出器(MPD)のプロトタイプを試作した。放射光及びレーザー駆動プラズマX線レーザー光源(波長13.9 nm)を用いた反射率及び透過率測定の結果、MPDは高効率反射鏡として機能するとともに、その反射率と透過率の間には強い正の相関が認められた。MPDはショット毎に変動するX線レーザーのビーム強度モニタとして十分な性能を有し、X線レーザーによる軟X線加工技術に不可欠な1パルスあたりの光子数の高精度計測に有効であることが分かった。 | |||||
会議概要(会議名, 開催地, 会期, 主催者等) | ||||||
内容記述タイプ | Other | |||||
内容記述 | 第30回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム | |||||
発表年月日 | ||||||
日付 | 2017-01-08 | |||||
日付タイプ | Issued |