WEKO3
アイテム
β型酸化ガリウム中へのp型ドーパント探索： Ba
https://repo.qst.go.jp/records/85302
https://repo.qst.go.jp/records/853020c126a62-fb7a-46fc-ac22-e145cd21c785
| Item type | 会議発表用資料 / Presentation(1) | |||||
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| 公開日 | 2022-03-16 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | β型酸化ガリウム中へのp型ドーパント探索： Ba | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f | |||||
| 資源タイプ | conference object | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| 著者 |
三木隼之介
× 三木隼之介× 宮本将伸× 嶋津, 亮× 唐佳藝× 三木一司× 前川, 雅樹× 河裾, 厚男× 飯村隆介× 山腰茂伸× 佐々木公平× Masaki, Maekawa× Atsuo, Kawasuso |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | 省エネ問題を解決するために、パワーデバイスの性能向上が求められている。その新材料として注目されているβ-Ga2O3はp 型ドーパントが未発見であるため、高耐圧なデバイスの開発が困難な状況にある。そこで我々は、イオン注入法を用いてp型不純物探索を行っている。本研究では、β-Ga2O3のｐ型ドーパントの有力な候補として Zn、Ba、Srに注目した。このうちBaについてのp型探索の現状報告を行う。 | |||||
| 会議概要（会議名, 開催地, 会期, 主催者等） | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 第82回応用物理学会秋季学術講演会 | |||||
| 発表年月日 | ||||||
| 日付 | 2021-09-13 | |||||
| 日付タイプ | Issued | |||||
