@misc{oai:repo.qst.go.jp:00085302, author = {三木隼之介 and 宮本将伸 and 嶋津, 亮 and 唐佳藝 and 三木一司 and 前川, 雅樹 and 河裾, 厚男 and 飯村隆介 and 山腰茂伸 and 佐々木公平 and Masaki, Maekawa and Atsuo, Kawasuso}, month = {Sep}, note = {省エネ問題を解決するために、パワーデバイスの性能向上が求められている。その新材料として注目されているβ-Ga2O3はp 型ドーパントが未発見であるため、高耐圧なデバイスの開発が困難な状況にある。そこで我々は、イオン注入法を用いてp型不純物探索を行っている。本研究では、β-Ga2O3のp型ドーパントの有力な候補として Zn、Ba、Srに注目した。このうちBaについてのp型探索の現状報告を行う。, 第82回応用物理学会秋季学術講演会}, title = {β型酸化ガリウム中へのp型ドーパント探索: Ba}, year = {2021} }