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  1. 学会発表・講演等
  2. 口頭発表

NdドープGaNフォトニック結晶L3共振器の近赤外発光特性

https://repo.qst.go.jp/records/85080
https://repo.qst.go.jp/records/85080
a5a37df0-49ab-49e9-8c34-b111a21b9acd
Item type 会議発表用資料 / Presentation(1)
公開日 2022-03-03
タイトル
タイトル NdドープGaNフォトニック結晶L3共振器の近赤外発光特性
言語
言語 jpn
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f
資源タイプ conference object
アクセス権
アクセス権 metadata only access
アクセス権URI http://purl.org/coar/access_right/c_14cb
著者 佐藤, 真一郎

× 佐藤, 真一郎

WEKO 1025897

佐藤, 真一郎

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大音, 隆男

× 大音, 隆男

WEKO 1025898

大音, 隆男

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大島, 武

× 大島, 武

WEKO 1025899

大島, 武

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Shinichiro, Sato

× Shinichiro, Sato

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en Shinichiro, Sato

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Takeshi, Ohshima

× Takeshi, Ohshima

WEKO 1025901

en Takeshi, Ohshima

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抄録
内容記述タイプ Abstract
内容記述 量子技術のひとつである量子暗号・通信の実現には、光子1個をオンデマンドで生成する技術、すなわち単一光子源の開発が必要である。窒化ガリウム(GaN)半導体にドープしたネオジム(Nd)は室温でも安定して近赤外・狭線幅の発光を示す上、電子デバイス化することで電流注入発光が得られるため(J.H. Kim, P.H. Holloway, Adv. Mater. 17 (2005) 91-96.)、室温動作する電気駆動型近赤外単一光子源への応用が期待できる。しかし、その実現には単一Nd発光の自然放出レートの改善が課題となる。そこで本研究では、Ndをイオン注入したGaN上にフォトニック結晶(PhC)共振器を形成し、パーセル効果によってNd-4f殻内遷移発光の自然放出レートを向上させることを試みた。
 Si基板上GaNエピ膜に100 keV-Ndをイオン注入し(注入量1×1014 cm-2、オフ角7度)、高温熱処理(1200 oC、2分、N2フロー)によって光学的に活性化させた後、PhC L3共振器構造を形成した(図1(a))。最適なL3共振器の設計パラメータ(ホール間隔a、ホール半径r)は光学シミュレーションにより決定した。レーザー走査型蛍光顕微鏡でNd起因の発光2次元分布を調べた結果(図1(b))、L3共振器中央部で高い発光強度が得られ、フォトルミネセンス測定の結果から、4F3/2 → 4I9/2 遷移による916 nmピークが増強していることが判明した(図1(c))。以上から、パーセル効果により自然放出レートの増加が起こっていることが示唆される。発表では、L3共振器の設計パラメータによる共振周波数の変化や、Nd発光遷移寿命の変化、Q値の算出について議論する。
会議概要(会議名, 開催地, 会期, 主催者等)
内容記述タイプ Other
内容記述 第69回応用物理学会春季学術講演会
発表年月日
日付 2022-03-22
日付タイプ Issued
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Ver.1 2023-05-15 17:04:18.056403
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