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電池・半導体デバイスにおけるオペランドイメージング分析
https://repo.qst.go.jp/records/84064
https://repo.qst.go.jp/records/84064ff7f4999-0aea-45f3-be25-e7667e6d4e47
| Item type | 一般雑誌記事 / Article(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2021-11-25 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 電池・半導体デバイスにおけるオペランドイメージング分析 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | article | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| 著者 |
堀場, 弘司
× 堀場, 弘司× 永村, 直佳× 松村, 太郎次郎× 安藤, 康伸× 尾嶋, 正治× Koji, Horiba |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | 本著では走査型光電子分光を用いた半導体デバイスや電池デバイスのオペランド光電子分光分析事例や、得られたスペクトルデータのハイスループット解析を可能とする計測インフォマティクスの適用事例について紹介する。 | |||||
| 書誌情報 |
電池・半導体デバイスにおけるオペランドイメージング分析 発行日 2021-11 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 株式会社エヌ・ティー・エス | |||||
| ISBN | ||||||
| 識別子タイプ | ISBN | |||||
| 関連識別子 | 978-4-86043-759-6 | |||||
