@article{oai:repo.qst.go.jp:00084064,
 author = {堀場, 弘司 and 永村, 直佳 and 松村, 太郎次郎 and 安藤, 康伸 and 尾嶋, 正治 and Koji, Horiba},
 journal = {電池・半導体デバイスにおけるオペランドイメージング分析},
 month = {Nov},
 note = {本著では走査型光電子分光を用いた半導体デバイスや電池デバイスのオペランド光電子分光分析事例や、得られたスペクトルデータのハイスループット解析を可能とする計測インフォマティクスの適用事例について紹介する。},
 title = {電池・半導体デバイスにおけるオペランドイメージング分析},
 year = {2021}
}