WEKO3
アイテム
テンダーX線回折格子分光器の高分解能化の検討(3)
https://repo.qst.go.jp/records/83489
https://repo.qst.go.jp/records/8348993ade044-372c-41f3-89f8-42db47b9eaaa
Item type | 会議発表用資料 / Presentation(1) | |||||
---|---|---|---|---|---|---|
公開日 | 2021-09-30 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | テンダーX線回折格子分光器の高分解能化の検討(3) | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
資源タイプ | ||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f | |||||
資源タイプ | conference object | |||||
アクセス権 | ||||||
アクセス権 | metadata only access | |||||
アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
著者 |
今園, 孝志
× 今園, 孝志× 林信和× 垣尾翼× 笹井浩行× 長野哲也× Takashi, Imazono |
|||||
抄録 | ||||||
内容記述タイプ | Abstract | |||||
内容記述 | 1~4 keVのエネルギー領域を入射角一定の条件下で同時に分光計測できる高分解能回折格子分光器の開発に取り組んでいる。本研究では、非周期Ni/C多層膜をコートした不等刻線間隔平面回折格子と前置集光鏡からなる分光光学系を設計した。まず、非周期多層膜による反射率の広帯域化を確認するために、イオンビームスパッタ法を用いて平面ガラス基板上に等周期及び非周期Ni/C多層膜を試作し、2.1~4 keVのエネルギー範囲の分光反射率を評価した。評価実験はBL-11Bに可搬型反射率計を持ち込んで実施した。測定値は面粗さに起因して高エネルギーほど計算値から乖離しているが、曲線形状の特長は概ね再現した。非周期多層膜の2.1~3.9 keV領域における反射率は20%超で、入射角一定の条件下であっても高反射率を広帯域で示している。 | |||||
会議概要(会議名, 開催地, 会期, 主催者等) | ||||||
内容記述タイプ | Other | |||||
内容記述 | 第35回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム | |||||
発表年月日 | ||||||
日付 | 2022-01-08 | |||||
日付タイプ | Issued |