@misc{oai:repo.qst.go.jp:00083489,
 author = {今園, 孝志 and 林信和 and 垣尾翼 and 笹井浩行 and 長野哲也 and Takashi, Imazono},
 month = {Jan},
 note = {1～4 keVのエネルギー領域を入射角一定の条件下で同時に分光計測できる高分解能回折格子分光器の開発に取り組んでいる。本研究では、非周期Ni/C多層膜をコートした不等刻線間隔平面回折格子と前置集光鏡からなる分光光学系を設計した。まず、非周期多層膜による反射率の広帯域化を確認するために、イオンビームスパッタ法を用いて平面ガラス基板上に等周期及び非周期Ni/C多層膜を試作し、2.1～4 keVのエネルギー範囲の分光反射率を評価した。評価実験はBL-11Bに可搬型反射率計を持ち込んで実施した。測定値は面粗さに起因して高エネルギーほど計算値から乖離しているが、曲線形状の特長は概ね再現した。非周期多層膜の2.1～3.9 keV領域における反射率は20%超で、入射角一定の条件下であっても高反射率を広帯域で示している。, 第35回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム},
 title = {テンダーX線回折格子分光器の高分解能化の検討（3）},
 year = {2022}
}