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アイテム
カーボンナノチューブ薄膜トランジスタの陽子線照 射に対する大気中での電気応答。
https://repo.qst.go.jp/records/82768
https://repo.qst.go.jp/records/827683215de63-7500-458b-9847-3ec7e41fdaf8
| Item type | 一般雑誌記事 / Article(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2021-04-25 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | カーボンナノチューブ薄膜トランジスタの陽子線照 射に対する大気中での電気応答。 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | article | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| 著者 |
石井, 聡
× 石井, 聡× 小西, 輝昭× 濱野, 毅× Teruaki, Konishi× Tsuyoshi, Hamano |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | カーボンナノチューブ薄膜トランジスタに大気中で3 . 3 M e V の陽子線を照射し，電気特性を評価した．オン状態のデバイスに対して照射を開始するとドレイン電流は増加し， 停止すると減少する可逆的な応答をした．またオフ状態では，照射の開始と停止に対する応答は，オン状態とは逆になった．マイクロラマン分光では， 入射陽子線によるカーボンナノチューブチャネルの構造欠陥の形成は確認されなかった．また， 損失エネルギーの計算結果に基づく考察から，電極やゲート酸化膜などの構造の変化はなく，新たなキャリア生成などもないと考えらえる． 観測されたドレイン電流応答の原因として， 大気中でデバ イスの表面に吸着していた分子が入射陽子線で脱離あるいは動くことで電荷分布が変化し， ゲート電圧を変調したものと考えられる． |
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| 書誌情報 |
NEWDIAMOND 巻 37, 号 2, p. 9-13, 発行日 2021-04 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | ニューダイヤモンドフォーラム事務局 | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 13404792 | |||||
