@article{oai:repo.qst.go.jp:00082768, author = {石井, 聡 and 小西, 輝昭 and 濱野, 毅 and Teruaki, Konishi and Tsuyoshi, Hamano}, issue = {2}, journal = {NEWDIAMOND}, month = {Apr}, note = {カーボンナノチューブ薄膜トランジスタに大気中で3 . 3 M e V の陽子線を照射し,電気特性を評価した.オン状態のデバイスに対して照射を開始するとドレイン電流は増加し, 停止すると減少する可逆的な応答をした.またオフ状態では,照射の開始と停止に対する応答は,オン状態とは逆になった.マイクロラマン分光では, 入射陽子線によるカーボンナノチューブチャネルの構造欠陥の形成は確認されなかった.また, 損失エネルギーの計算結果に基づく考察から,電極やゲート酸化膜などの構造の変化はなく,新たなキャリア生成などもないと考えらえる. 観測されたドレイン電流応答の原因として, 大気中でデバ イスの表面に吸着していた分子が入射陽子線で脱離あるいは動くことで電荷分布が変化し, ゲート電圧を変調したものと考えられる.}, pages = {9--13}, title = {カーボンナノチューブ薄膜トランジスタの陽子線照 射に対する大気中での電気応答。}, volume = {37}, year = {2021} }