WEKO3
アイテム
β-Ga2O3 ショットキーバリアダイオードの電子線照射に対する耐性
https://repo.qst.go.jp/records/76959
https://repo.qst.go.jp/records/7695912970c2f-9a3e-496e-a5d0-2d76edc796a0
| Item type | 会議発表用資料 / Presentation(1) | |||||
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| 公開日 | 2019-09-27 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | β-Ga2O3 ショットキーバリアダイオードの電子線照射に対する耐性 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Resistance of β-Ga2O3 Schottky Barrier Diodes to Electron-Beam Irradiation | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f | |||||
| 資源タイプ | conference object | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| 著者 |
林, 家弘
× 林, 家弘× 武山, 昭憲× 湯田, 洋平× 綿引, 達郎× 村上, 尚× 熊谷, 義直× 大島, 武× 東脇, 正高× Takeyama, Akinori× Ohshima, Takeshi |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | β-Ga2O3 は、非常に大きなバンドギャップエネルギー(4.5 eV) から高い放射線耐性を有すると期待され、宇宙や原子力発電所などで用いられる半導体デバイス用材料として有望である。本研究では、縦型β-Ga2O3 ショットキーバリアダイオード (SBD) に対して、総線量1×1016 cm-2 まで電子線を段階的に照射し、デバイス特性の変化から電子線耐性を評価した。厚さ8μmのn型Ga2O3ドリフト層を有するGa2O3 (001) エピ基板に、直径200 μm の円形Pt/Ti/Au ショットキーアノード電極、裏面全面にTi/Au オーミックカソード電極を蒸着してSBDを作製した。電子線のエネルギー、線量率は、それぞれ1.5 MeV, 4.62×1012 cm-2∙s-1 であり、照射は大気中、室温で行った。 線量が増加しても順方向立ち上がり電圧 (Von) と理想係数 (η) はほとんど変化せず、電極/Ga2O3 ショットキー界面が照射によりほぼ劣化していないことが示唆された。一方、逆方向電流は照射によりやや増加したが、増加量は非常に小さいことから、β-Ga2O3SBDが、電子線照射に対して高い耐性を有する可能性が示された。 |
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| 会議概要（会議名, 開催地, 会期, 主催者等） | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 第80回応用物理学会秋季学術講演会 | |||||
| 発表年月日 | ||||||
| 日付 | 2019-09-21 | |||||
| 日付タイプ | Issued | |||||
