WEKO3
アイテム
ボロンK発光対応増反射膜付加高回折効率軟X線ラミナー型回折格子の開発
https://repo.qst.go.jp/records/76527
https://repo.qst.go.jp/records/765271b4cc1cc-233a-49a8-a6d0-dfea7f240d4e
| Item type | 会議発表用資料 / Presentation(1) | |||||
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| 公開日 | 2019-08-21 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | ボロンK発光対応増反射膜付加高回折効率軟X線ラミナー型回折格子の開発 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f | |||||
| 資源タイプ | conference object | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| 著者 |
小池, 雅人
× 小池, 雅人× 羽多野, 忠× 寺内, 正己× ピロジコフ, アレキサンダー× 林, 信和× 笹井, 浩行× 長野, 哲也× Koike, Masato× Pirozhkov, Alexander |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | 在来の金属膜コート回折格子上にランタン系の薄膜をオーバーコートすることにより、B-K発光（6.76 nm、183.3 eV）スペクトル周辺における回折格子の回折効率の向上を図るために、数値計算による設計研究と生成・評価研究を行った。これまで、Niコートされた回折格子にアモルファスカーボン、ダイヤモンドライクカーボン（DLC）、TiO2、CeO3の何れかをオーバーコートすることにより、回折効率が向上する実験結果を得ている。今回数値計算により、La、La2O3、およびLaF3がこれまで得た結果を上回る可能性のあるオーバーコート材料であることを見出した。実験的研究では、量産性と耐久性を考慮して、LaF3およびLa / C層をNiコートされた回折格子上にオーバーコートし、回折効率を放射光施設の反射率計を使用して測定した。その結果、6.76 nmで観測された回折効率は、LaF3およびLa / CをオーバーコートしたNiコート回折格子を入射角84.20°で使用した場合それぞれ27.8％および29.8％であった。 | |||||
| 会議概要（会議名, 開催地, 会期, 主催者等） | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 第55回 X線分析討論会 | |||||
| 発表年月日 | ||||||
| 日付 | 2019-10-30 | |||||
| 日付タイプ | Issued | |||||
