@misc{oai:repo.qst.go.jp:00076527,
 author = {小池, 雅人 and 羽多野, 忠 and 寺内, 正己 and ピロジコフ, アレキサンダー and 林, 信和 and 笹井, 浩行 and 長野, 哲也 and Koike, Masato and Pirozhkov, Alexander},
 month = {Oct},
 note = {在来の金属膜コート回折格子上にランタン系の薄膜をオーバーコートすることにより、B-K発光（6.76 nm、183.3 eV）スペクトル周辺における回折格子の回折効率の向上を図るために、数値計算による設計研究と生成・評価研究を行った。これまで、Niコートされた回折格子にアモルファスカーボン、ダイヤモンドライクカーボン（DLC）、TiO2、CeO3の何れかをオーバーコートすることにより、回折効率が向上する実験結果を得ている。今回数値計算により、La、La2O3、およびLaF3がこれまで得た結果を上回る可能性のあるオーバーコート材料であることを見出した。実験的研究では、量産性と耐久性を考慮して、LaF3およびLa / C層をNiコートされた回折格子上にオーバーコートし、回折効率を放射光施設の反射率計を使用して測定した。その結果、6.76 nmで観測された回折効率は、LaF3およびLa / CをオーバーコートしたNiコート回折格子を入射角84.20°で使用した場合それぞれ27.8％および29.8％であった。, 第55回 X線分析討論会},
 title = {ボロンK発光対応増反射膜付加高回折効率軟X線ラミナー型回折格子の開発},
 year = {2019}
}