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アイテム
200~900 eV域対応高回折効率・広受光角 軟X線ラミナー型W/C多層膜回折格子の設計(II)
https://repo.qst.go.jp/records/76008
https://repo.qst.go.jp/records/76008f7e12310-c143-41d8-a182-a56ae778354a
| Item type | 会議発表用資料 / Presentation(1) | |||||
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| 公開日 | 2019-06-10 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 200~900 eV域対応高回折効率・広受光角 軟X線ラミナー型W/C多層膜回折格子の設計(II) | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f | |||||
| 資源タイプ | conference object | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| 著者 |
小池, 雅人
× 小池, 雅人× 羽多野, 忠× ピロジコフ, アレキサンダー× 寺内, 正己× 林, 信和× 笹井, 浩行× Koike, Masato× Pirozhkov, Alexander |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | ラミナー型回折格子への軟X線多層膜の付加及び入射角を小さくすることにより、Fe-L発光(705.0 eV, 1.76 nm)を中心とした広いエネルギー領域での回折効率の向上を図る方法について前回述べた。しかし、入射角の減少とともに角分散も小さくなり、スペクトル分解能が低下する問題があった。そこで今回は回折格子の刻線密度を増加させ、スペクトル分解能の低下を防ぐ方法について検討したので報告する。 | |||||
| 会議概要(会議名, 開催地, 会期, 主催者等) | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会 | |||||
| 発表年月日 | ||||||
| 日付 | 2019-09-18 | |||||
| 日付タイプ | Issued | |||||