@misc{oai:repo.qst.go.jp:00076008,
 author = {小池, 雅人 and 羽多野, 忠 and ピロジコフ, アレキサンダー and 寺内, 正己 and 林, 信和 and 笹井, 浩行 and Koike, Masato and Pirozhkov, Alexander},
 month = {Sep},
 note = {ラミナー型回折格子への軟X線多層膜の付加及び入射角を小さくすることにより、Fe-L発光(705.0 eV, 1.76 nm)を中心とした広いエネルギー領域での回折効率の向上を図る方法について前回述べた。しかし、入射角の減少とともに角分散も小さくなり、スペクトル分解能が低下する問題があった。そこで今回は回折格子の刻線密度を増加させ、スペクトル分解能の低下を防ぐ方法について検討したので報告する。, 2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会},
 title = {200～900 eV域対応高回折効率・広受光角 軟X線ラミナー型Ｗ/Ｃ多層膜回折格子の設計(II)},
 year = {2019}
}