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アイテム
耐放射線用4H-SiC横型JFETのしきい値制御
https://repo.qst.go.jp/records/74798
https://repo.qst.go.jp/records/747984549f10a-ad82-4154-8105-4f2be5d1e35f
| Item type | 会議発表用資料 / Presentation(1) | |||||
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| 公開日 | 2019-03-18 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 耐放射線用4H-SiC横型JFETのしきい値制御 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f | |||||
| 資源タイプ | conference object | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| 著者 |
清水, 奎吾
× 清水, 奎吾× 田中, 保宣× 黒木, 伸一郎× 牧野, 高紘× 武山, 昭憲× 大島, 武× Makino, Takahiro× Takeyama, Akinori× Ohshima, Takeshi |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | 福島第一原発の廃炉作業において、高放射線によりモニターロボットの半導体イメージセンサが容易に破損するため、イメージセンサを構成するトランジスタには高い耐放射線性が求められている。高温、高放射線環境でも安定した動作が期待できるSiCを用いてチャネル部に酸化膜を持たないJFETを作製することで、高い耐放射線性が実現可能である。しかし、我々が以前報告したJFETは、n型エピタキシャル層の膜厚が変化するとチャネル幅Wchも変化するため、イメージセンサに求められる同一基板上にノーマリオンとオフ特性をそれぞれ作製することが困難であった。そこで本研究では、イオン注入により基板側のp型層を形成することでノーマリオンとオフ特性を安定して制御できるJFETの作製を試みた。 n型4H-SiC(0001)上に厚さ3.0µmのn型エピタキシャル層が形成された基板に、Alイオン注入によりp型層を形成した。ノーマリオンとオフ特性のJFETをそれぞれ作製する目的から、p層の注入深さを変化させた。また、ソース/ドレイン領域はPのイオン注入により形成し、すべてのイオン注入工程は基板温度600℃で行った。イオン注入後、1650℃、10分間の活性化アニールを行った。この素子を作製する上での各パラメータはTCADシミュレーションで設定した。その結果、注入深さによりノーマリーオン（しきい値電圧Vth -3.08V）、オフ（Vth 1.49V）の特性制御に成功した。 |
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| 会議概要（会議名, 開催地, 会期, 主催者等） | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 先進パワー半導体分科会 第5回講演会 | |||||
| 発表年月日 | ||||||
| 日付 | 2018-11-06 | |||||
| 日付タイプ | Issued | |||||
