ログイン
言語:

WEKO3

  • トップ
  • ランキング
To
lat lon distance
To

Field does not validate



インデックスリンク

インデックスツリー

メールアドレスを入力してください。

WEKO

One fine body…

WEKO

One fine body…

アイテム

  1. 学会発表・講演等
  2. ポスター発表

バッファー層を用いたSi基板上への高品位鉄酸化物薄膜の作製

https://repo.qst.go.jp/records/74701
https://repo.qst.go.jp/records/74701
7fb9bd08-875b-42a8-96fc-2e802a1a138a
Item type 会議発表用資料 / Presentation(1)
公開日 2019-01-19
タイトル
タイトル バッファー層を用いたSi基板上への高品位鉄酸化物薄膜の作製
言語
言語 jpn
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f
資源タイプ conference object
アクセス権
アクセス権 metadata only access
アクセス権URI http://purl.org/coar/access_right/c_14cb
著者 山中, 健太

× 山中, 健太

WEKO 734997

山中, 健太

Search repository
高野, 健吾

× 高野, 健吾

WEKO 734998

高野, 健吾

Search repository
山口, 憲司

× 山口, 憲司

WEKO 734999

山口, 憲司

Search repository
Yamanaka, Kenta

× Yamanaka, Kenta

WEKO 735000

en Yamanaka, Kenta

Search repository
Takano, Kengo

× Takano, Kengo

WEKO 735001

en Takano, Kengo

Search repository
Yamaguchi, Kenji

× Yamaguchi, Kenji

WEKO 735002

en Yamaguchi, Kenji

Search repository
抄録
内容記述タイプ Abstract
内容記述 Si 基板上に種々の機能性薄膜を作製することはデバイス応用にとって重要なプロセスである。例 えば、Fe3O4 (magnetite) はその高いスピン偏極率からスピントロニクスデバイス用材料として期待されている物質であるが、Si 基板上に直接作製した報告は少なく、高品位な薄膜を作製するには Al₂O₃などのバッファー層を使用する方法がとられている 。そこで、筆者らはバッファー層に Al2O3と同様に化学的に安定で、かつ Al2O3よりも Fe₃O₄との格子整合性が高い MgOに着目し、単相のエピタキシャル Fe₃O₄薄膜を作製するために必要な、MgOの高品位膜をSi基板上に作製する条件を探索した。
会議概要(会議名, 開催地, 会期, 主催者等)
内容記述タイプ Other
内容記述 第66回応用物理学会春季学術講演会
発表年月日
日付 2019-03-10
日付タイプ Issued
戻る
0
views
See details
Views

Versions

Ver.1 2023-05-15 19:05:24.897107
Show All versions

Share

Mendeley Twitter Facebook Print Addthis

Cite as

エクスポート

OAI-PMH
  • OAI-PMH JPCOAR 2.0
  • OAI-PMH JPCOAR 1.0
  • OAI-PMH DublinCore
  • OAI-PMH DDI
Other Formats
  • JSON
  • BIBTEX

Confirm


Powered by WEKO3


Powered by WEKO3