WEKO3
アイテム
結晶性の低い基板の表面に結晶配向した酸化タングステン薄膜を作製する方法
https://repo.qst.go.jp/records/74447
https://repo.qst.go.jp/records/74447be337569-62e9-4deb-a9ed-9a4bd18888f6
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
公開広報 (66.6 kB)
|
|
|
|
特許公報 (59.2 kB)
|
|
| Item type | 特許 / Patent(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2019-02-28 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 結晶性の低い基板の表面に結晶配向した酸化タングステン薄膜を作製する方法 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_1843 | |||||
| 資源タイプ | other | |||||
| 職務発明者 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 726702 | |||||
| 姓名 | 高野勝昌 | |||||
| 職務発明者 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 726703 | |||||
| 姓名 | 山本春也 | |||||
| 職務発明者 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 726704 | |||||
| 姓名 | 吉川正人 | |||||
| 職務発明者 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 726705 | |||||
| 姓名 | 井上愛知 | |||||
| 共願 | ||||||
| 値 | - | |||||
| 公開番号 | ||||||
| 値 | JP2007-039758 | |||||
| 公開日 | ||||||
| 日付 | 2007-02-15 | |||||
| 特許番号 | ||||||
| 値 | 4590603 | |||||
| 登録日 | ||||||
| 日付 | 2010-09-24 | |||||
| 分類 | ||||||
| 値 | 先端材料/機能性材料 | |||||
