WEKO3
アイテム
Mo-overcoated grating-based beam intensity monitor for 13.9 nm X-ray laser
https://repo.qst.go.jp/records/73414
https://repo.qst.go.jp/records/734144084e75c-34ee-41ab-ba97-5592da916ee4
| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2019-02-14 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Mo-overcoated grating-based beam intensity monitor for 13.9 nm X-ray laser | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | eng | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | journal article | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| 著者 |
今園, 孝志
× 今園, 孝志× 西原弘晃× 浮田龍一× 笹井浩行× 長野哲也× Imazono, Takashi |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | 波長13.9 nmのＸ線レーザー（XRL）で使用する回折格子ビーム強度モニタの高効率化のために、モリブデン薄膜を金コート回折格子に積層した。放射光を用いた回折効率測定によってMoコーティングによる高効率化を確認した。また、XRLで測定した0次と１次の回折光強度間に強い相関を認めた。ビーム強度モニタの実用性はMo回折格子から供給されたXRLビームを用いた軟Ｘ線エリプソメトリによって実証された。 | |||||
| 書誌情報 |
The American Institute of Physics (AIP) Conference Proceedings 巻 2054, p. 060050-1-060050-5, 発行日 2019-01 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | AIP Publishing | |||||
| DOI | ||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||
| 関連識別子 | 10.1063/1.5084681 | |||||
| 関連サイト | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | https://aip.scitation.org/doi/abs/10.1063/1.5084681 | |||||
