WEKO3
アイテム
SiC表面に形成される単一光子源の酸化膜厚依存性
https://repo.qst.go.jp/records/72999
https://repo.qst.go.jp/records/72999841ac2d4-eae3-47cc-9938-8172846bd53a
| Item type | 会議発表用資料 / Presentation(1) | |||||
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| 公開日 | 2018-11-12 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | SiC表面に形成される単一光子源の酸化膜厚依存性 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f | |||||
| 資源タイプ | conference object | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| 著者 |
常見, 大貴
× 常見, 大貴× 佐藤, 真一郎× 山崎, 雄一× 牧野, 高紘× 土方, 泰斗× 大島, 武× 常見 大貴× 佐藤 真一郎× 山崎 雄一× 牧野 高紘× 大島 武 |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | これまでに、熱酸化によってSiC表面近傍に形成される単一光子源（表面SPS）を発見している。しかし、その構造は未同定であり、且つ、SPSの発光波長ピークに分布がある原因が明らかとなっていない。我々は、この発光波長変動はSPSの局所構造の違いであると推察しており、本研究では酸化膜時間（酸化膜厚）や酸化後熱処理といった酸化膜／SiC界面に影響を及ぼすプロセスがSPSの発光特性に及ぼす影響を調べた。 | |||||
| 会議概要（会議名, 開催地, 会期, 主催者等） | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 先進パワー半導体分科会第5回講演会参加の為 | |||||
| 発表年月日 | ||||||
| 日付 | 2018-11-07 | |||||
| 日付タイプ | Issued | |||||
