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アイテム
電子顕微鏡用軟X線発光分光器（SXES)の開発と実用化
https://repo.qst.go.jp/records/72619
https://repo.qst.go.jp/records/72619944e63fb-c0f1-4b0f-bd51-09e874617cc5
| Item type | 会議発表用資料 / Presentation(1) | |||||
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| 公開日 | 2018-01-04 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 電子顕微鏡用軟X線発光分光器（SXES)の開発と実用化 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f | |||||
| 資源タイプ | conference object | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| 著者 |
小池, 雅人
× 小池, 雅人× 寺内, 正己× 羽多野, 忠× 高橋, 秀之× 能登谷, 智史× 高橋, 優× 村野, 孝訓× 小枝, 勝× 長野, 哲也× 笹井, 浩行× 西原, 弘晃× 小池 雅人 |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | 半導体デバイスや新機能材料等の評価・開発に必要な高い空間分解能を有する電子顕微鏡を用いると、局所の構造・組成を明らかにできるが、物質機能を支配する結合状態を直接計測する手法がなかった。一方、放射光施設では軟X線発光分光により結合状態分析が可能であるが、高い空間分解能の顕微鏡機能がなかった。 本開発では、電子顕微鏡技術と新たに開発した軟X線ホログラフィック回折格子を用いた発光分光技術を融合し、世界で初めて小型で高分解能な電子顕微鏡用軟X線分析システムの商品化に成功した。 本開発により、半導体X線分析装置の100倍、分光結晶を用いたX線分析装置の10倍のエネルギー分解能を達成。また、パラレル検出方式の採用により、結晶分光器の10 ～100倍の検出効率上を実現。微少領域の化学結合状態分析が可能であること実証した。 本成果は、材料開発現場でのオンデマンド分析と材料創製⇔分析のフィードバックサイクルの短縮を可能とし、リチウム2次電池や超高張力鋼板（超ハイテン）などの高機能鋼な高付加価値工業製品の開発促進に寄与している。 |
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| 会議概要（会議名, 開催地, 会期, 主催者等） | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 用物理学会関西支部 平成29年度第3回 講演会「応用物理研究からビジネスへ」 | |||||
| 発表年月日 | ||||||
| 日付 | 2018-02-23 | |||||
| 日付タイプ | Issued | |||||
