@misc{oai:repo.qst.go.jp:00072619,
 author = {小池, 雅人 and 寺内, 正己 and 羽多野, 忠 and 高橋, 秀之 and 能登谷, 智史 and 高橋, 優 and 村野, 孝訓 and 小枝, 勝 and 長野, 哲也 and 笹井, 浩行 and 西原, 弘晃 and 小池 雅人},
 month = {Feb},
 note = {半導体デバイスや新機能材料等の評価・開発に必要な高い空間分解能を有する電子顕微鏡を用いると、局所の構造・組成を明らかにできるが、物質機能を支配する結合状態を直接計測する手法がなかった。一方、放射光施設では軟X線発光分光により結合状態分析が可能であるが、高い空間分解能の顕微鏡機能がなかった。
本開発では、電子顕微鏡技術と新たに開発した軟X線ホログラフィック回折格子を用いた発光分光技術を融合し、世界で初めて小型で高分解能な電子顕微鏡用軟X線分析システムの商品化に成功した。
本開発により、半導体X線分析装置の100倍、分光結晶を用いたX線分析装置の10倍のエネルギー分解能を達成。また、パラレル検出方式の採用により、結晶分光器の10 ～100倍の検出効率上を実現。微少領域の化学結合状態分析が可能であること実証した。
 本成果は、材料開発現場でのオンデマンド分析と材料創製⇔分析のフィードバックサイクルの短縮を可能とし、リチウム2次電池や超高張力鋼板（超ハイテン）などの高機能鋼な高付加価値工業製品の開発促進に寄与している。, 用物理学会関西支部　平成29年度第3回 講演会「応用物理研究からビジネスへ」},
 title = {電子顕微鏡用軟X線発光分光器（SXES)の開発と実用化},
 year = {2018}
}