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アイテム
広帯域多層膜回折格子を搭載したテンダーX線分光器の結像特性
https://repo.qst.go.jp/records/72509
https://repo.qst.go.jp/records/725094582874d-9c2e-46fc-af4f-422fd30ce846
| Item type | 会議発表用資料 / Presentation(1) | |||||
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| 公開日 | 2017-11-06 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 広帯域多層膜回折格子を搭載したテンダーX線分光器の結像特性 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f | |||||
| 資源タイプ | conference object | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| 著者 |
今園, 孝志
× 今園, 孝志× 今園 孝志 |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | デバイス機能の本質を理解するために、近年、テンダーX線（概ね1～5 keV領域）でのオペランド分光計測が進展してきた。回折格子は反射膜（Au）の吸収により著しく回折効率が低下するため、当該領域での利用は一般に困難とされる。反射膜を多層膜化することで高効率化できるが、一定入射角での分光範囲は狭くなる。もし、テンダーX線で広帯域多層膜回折格子を開発できれば、波長掃印することなくオペランド計測を実現できる。本研究では、非周期Ni/C多層膜を適用した多層膜回折格子を考案し、回折効率の広帯域化を実験的に確かめるとともに、テンダーX線領域の特性Ｘ線の線幅計測から分解能を評価したので報告する。 | |||||
| 会議概要（会議名, 開催地, 会期, 主催者等） | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 第14回X線結像光学シンポジウム | |||||
| 発表年月日 | ||||||
| 日付 | 2017-11-29 | |||||
| 日付タイプ | Issued | |||||
