WEKO3
アイテム
EUV光源用ターゲットのアブレーションにおける 気泡、粒子の生成過程
https://repo.qst.go.jp/records/72299
https://repo.qst.go.jp/records/722995643fa3f-b56b-4bfc-8952-f557dd0c9b8a
| Item type | 会議発表用資料 / Presentation(1) | |||||
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| 公開日 | 2017-04-26 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | EUV光源用ターゲットのアブレーションにおける 気泡、粒子の生成過程 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f | |||||
| 資源タイプ | conference object | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| 著者 |
佐々木, 明
× 佐々木, 明× 佐々木明× 砂原淳× 西原功修× 佐々木 明 |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | 次世代半導体リソグラフィ技術のためのレーザー生成プラズマEUV光源において、プリパルスレーザー照射でSn液滴ターゲットを粒子に分散する過程の最適化のために行っている、加熱された液滴が溶融、蒸発する際の構造形成の物理モデル、数値シミュレーション手法の研究について報告した。メッシュの動的再配置および熱平衡状態を過程した相転移モデルによって、気液相転移の過程および、生成した気泡や粒子のダイナミクスを計算する手法を開発し、結果の検証を行った。 | |||||
| 会議概要（会議名, 開催地, 会期, 主催者等） | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 日本物理学会第72回年次大会 | |||||
| 発表年月日 | ||||||
| 日付 | 2017-03-20 | |||||
| 日付タイプ | Issued | |||||
