WEKO3
アイテム
Modeling of emission of particle debris from ablation of the tin target for the laser produced plasma extreme ultra-violet light source
https://repo.qst.go.jp/records/66641
https://repo.qst.go.jp/records/6664111f807d6-9777-4ebf-8326-25043ac9456b
| Item type | 会議発表用資料 / Presentation(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2018-03-12 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Modeling of emission of particle debris from ablation of the tin target for the laser produced plasma extreme ultra-violet light source | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | eng | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f | |||||
| 資源タイプ | conference object | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| 著者 |
佐々木, 明
× 佐々木, 明× 佐々木 明 |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | レーザー励起プラズマEUV光源において、レーザー照射されたターゲットから発生するデブリの挙動を再現するために開発したラグランジ流体シミュレーションの計算手法、メッシュの動的再配置の方法、および相転移モデルと組み合わせて粒子や気泡のダイナミクスを計算する手法について議論した。 | |||||
| 会議概要（会議名, 開催地, 会期, 主催者等） | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | SPIE Advanced Lithography | |||||
| 発表年月日 | ||||||
| 日付 | 2018-03-01 | |||||
| 日付タイプ | Issued | |||||
