WEKO3
アイテム
Modeling of Particle Debris from the Target of Laser Produced Plasma EUV Sources
https://repo.qst.go.jp/records/66535
https://repo.qst.go.jp/records/665351dee44f0-3f4d-49a9-a2da-3057e958894c
| Item type | 会議発表用資料 / Presentation(1) | |||||
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| 公開日 | 2017-12-04 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Modeling of Particle Debris from the Target of Laser Produced Plasma EUV Sources | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | eng | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f | |||||
| 資源タイプ | conference object | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| 著者 |
佐々木, 明
× 佐々木, 明× 佐々木 明 |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | "Modeling of Particle Debris from the Target of Laser Produced Plasma EUV Sources"の題名で口頭発表を行うとともに、EUV光源のプラズマ流体力学、原子過程の物理の研究者や、レーザー、光学、加速器などの技術者との情報交換を行う。 | |||||
| 会議概要（会議名, 開催地, 会期, 主催者等） | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 2017 Source workshop | |||||
| 発表年月日 | ||||||
| 日付 | 2017-11-08 | |||||
| 日付タイプ | Issued | |||||
