WEKO3
アイテム
小型イオンマイクロビーム装置用PIGイオン源の開発
https://repo.qst.go.jp/records/66193
https://repo.qst.go.jp/records/6619331fd03b7-d0a7-4043-8977-95f6a1f0a8e6
| Item type | 会議発表用資料 / Presentation(1) | |||||
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| 公開日 | 2017-03-21 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 小型イオンマイクロビーム装置用PIGイオン源の開発 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f | |||||
| 資源タイプ | conference object | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| 著者 |
石井, 保行
× 石井, 保行× 大久保, 猛× 三宅, 善信× 石井 保行× 大久保 猛 |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | 産業界等への普及を目指した300keV小型イオンマイクロビ－ム装置を開発している。本装置への搭載が可能な高輝度ビームの発生と小型・省電力を両立するイオン源の開発を目的に、電磁石による磁気回路の工夫で、小空間（1.5mmΦ×1mm程度）に調節可能な強磁場により閉込めた高密度プラズマを発生し、ここからイオンビームを引き出す電磁石型PIGイオン源（サイズ：10cmΦ×10cm、目標消費電力、ビ－ム電流及び輝度：20W以下、10μA以上及び5A/(m2srV)以上）を試作した。その性能を評価した結果、10Wの消費電力で、0.5T程度の磁場により、水素イオンビーム18μA及び輝度80A/(m2srV)を発生したことで、ほぼ目標の性能を達成し、目的のイオン源の開発に目処を立てることができた。 | |||||
| 会議概要（会議名, 開催地, 会期, 主催者等） | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 第64回応用物理学会春季学術講演会 | |||||
| 発表年月日 | ||||||
| 日付 | 2017-03-17 | |||||
| 日付タイプ | Issued | |||||
