@misc{oai:repo.qst.go.jp:00066193,
 author = {石井, 保行 and 大久保, 猛 and 三宅, 善信 and 石井 保行 and 大久保 猛},
 month = {Mar},
 note = {産業界等への普及を目指した300keV小型イオンマイクロビ－ム装置を開発している。本装置への搭載が可能な高輝度ビームの発生と小型・省電力を両立するイオン源の開発を目的に、電磁石による磁気回路の工夫で、小空間（1.5mmΦ×1mm程度）に調節可能な強磁場により閉込めた高密度プラズマを発生し、ここからイオンビームを引き出す電磁石型PIGイオン源（サイズ：10cmΦ×10cm、目標消費電力、ビ－ム電流及び輝度：20W以下、10μA以上及び5A/(m2srV)以上）を試作した。その性能を評価した結果、10Wの消費電力で、0.5T程度の磁場により、水素イオンビーム18μA及び輝度80A/(m2srV)を発生したことで、ほぼ目標の性能を達成し、目的のイオン源の開発に目処を立てることができた。, 第64回応用物理学会春季学術講演会},
 title = {小型イオンマイクロビーム装置用PIGイオン源の開発},
 year = {2017}
}