WEKO3
アイテム
Beam diameter reduction by optimization of an extraction condition in a compact ion microbeam system
https://repo.qst.go.jp/records/66023
https://repo.qst.go.jp/records/6602393c44a77-fc97-42dc-9c9d-bb298e14da6b
| Item type | 会議発表用資料 / Presentation(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2016-11-16 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Beam diameter reduction by optimization of an extraction condition in a compact ion microbeam system | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | eng | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f | |||||
| 資源タイプ | conference object | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| 著者 |
大久保, 猛
× 大久保, 猛× 石井, 保行× 大久保 猛× 石井 保行 |
|||||
| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | 大学研究室等への普及を目指して、加速と集束を一体的に行う加速レンズ系を用いた小型イオンマイクロビーム装置を開発している。これまでの研究によって、120keV水素イオンビームでの目標1μm径に対して5.8μm径を形成し、更なるビーム径の縮小のためには、レンズ系に入射するビームの発散角を狭めて縮小率を増強することが有効であることが示唆された。そこで、発散角への影響が大きいイオン源のアノード電極と引出電極の間の距離を変数として、引出ビームの発散角を計算したところ、電極間距離が従来の３分の２において最小、即ち、縮小率が最大となる結果を得た。これに従って電極間距離を変えて測定した結果、ビーム径が1.8μmへと縮小し、目標値に大きく近づいた。 | |||||
| 会議概要（会議名, 開催地, 会期, 主催者等） | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 24th Conference on Application of Accelerators in Research and Industry (CAARI2016) | |||||
| 発表年月日 | ||||||
| 日付 | 2016-10-31 | |||||
| 日付タイプ | Issued | |||||
