@misc{oai:repo.qst.go.jp:00066023, author = {大久保, 猛 and 石井, 保行 and 大久保 猛 and 石井 保行}, month = {Oct}, note = {大学研究室等への普及を目指して、加速と集束を一体的に行う加速レンズ系を用いた小型イオンマイクロビーム装置を開発している。これまでの研究によって、120keV水素イオンビームでの目標1μm径に対して5.8μm径を形成し、更なるビーム径の縮小のためには、レンズ系に入射するビームの発散角を狭めて縮小率を増強することが有効であることが示唆された。そこで、発散角への影響が大きいイオン源のアノード電極と引出電極の間の距離を変数として、引出ビームの発散角を計算したところ、電極間距離が従来の3分の2において最小、即ち、縮小率が最大となる結果を得た。これに従って電極間距離を変えて測定した結果、ビーム径が1.8μmへと縮小し、目標値に大きく近づいた。, 24th Conference on Application of Accelerators in Research and Industry (CAARI2016)}, title = {Beam diameter reduction by optimization of an extraction condition in a compact ion microbeam system}, year = {2016} }