WEKO3
アイテム
小型イオンマイクロビーム装置の引出条件の改良によるビーム径縮小
https://repo.qst.go.jp/records/65960
https://repo.qst.go.jp/records/65960c7317ba9-c034-4381-b5d5-37edcfbacb7b
| Item type | 会議発表用資料 / Presentation(1) | |||||
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| 公開日 | 2016-09-16 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 小型イオンマイクロビーム装置の引出条件の改良によるビーム径縮小 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f | |||||
| 資源タイプ | conference object | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| 著者 |
大久保, 猛
× 大久保, 猛× 石井, 保行× 大久保 猛× 石井 保行 |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | 実験室に設置可能な数百keV級の小型イオンマイクロビーム装置を開発しており、これまでに120keVでビーム径5.8μmを得た。本装置では、加速と集束を同時に行う加速レンズ系を採用しており、その集束メカニズムのために、より低いエネルギーのビームをレンズ系に入射することで縮小率を向上できる。そこで、更にビーム径を縮小することを目的に、イオン源のビーム引出電場の強さを変えないことで入射ビームの物点径と発散角を保ったままビームエネルギーを低めるために、イオン源のアノード電極と引出電極の間の距離をこれまでの３分の２へと短くした。その結果、ビーム径が1.8μmへと縮小した。 | |||||
| 会議概要（会議名, 開催地, 会期, 主催者等） | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 日本原子力学会2016年秋の大会 | |||||
| 発表年月日 | ||||||
| 日付 | 2016-09-09 | |||||
| 日付タイプ | Issued | |||||
